 |
| 모델 | 800 시리즈 | 1000 시리즈 | 1200 시리즈 | ||||
| 온도 성능 매개변수 | |||||||
| 방열판 온도 범위 | ℃ | -70~150 | |||||
| 베이스 플레이트 온도 범위 | ℃ | -70~150 | |||||
| 방열판 평균 온도 변화율 | ℃/분 | ≥2 | |||||
| 베이스 플레이트 평균 온도 변화율 | ℃/분 | ≥2 | |||||
| 방열판 온도 균일성 | ℃ | ±2 | ±3 | ||||
| 베이스 플레이트 온도 균일성 | ℃ | ±2 | ±3 | ||||
| 압력 성능 매개변수 | |||||||
| 궁극의 압력 | 아빠 | ≤5×10-5 | |||||
| 일의 압박감 | 아빠 | ≤1.3×10-3 | |||||
| 메인 펌프 펌핑 시간 | h | 5 | |||||
| 하중 시뮬레이션 | 킬로그램 | 10 | 15 | 20 | |||
| 메인 펌프 | 저온 펌프 | ||||||
| 기름 펌프 | 고온 및 저온 자기 펌프 | ||||||
| 백업 펌프 | 로터리 베인 펌프 + 루츠 펌프 | ||||||
| 냉장 방법 | 기계식 캐스케이드 냉동(액체 질소 보조 냉동) | ||||||
| 모델 | 800 시리즈 | 1000 시리즈 | 1200 시리즈 | ||||
| 온도 성능 매개변수 | |||||||
| 방열판 온도 범위 | ℃ | -70~150 | |||||
| 베이스 플레이트 온도 범위 | ℃ | -70~150 | |||||
| 방열판 평균 온도 변화율 | ℃/분 | ≥2 | |||||
| 베이스 플레이트 평균 온도 변화율 | ℃/분 | ≥2 | |||||
| 방열판 온도 균일성 | ℃ | ±2 | ±3 | ||||
| 베이스 플레이트 온도 균일성 | ℃ | ±2 | ±3 | ||||
| 압력 성능 매개변수 | |||||||
| 궁극의 압력 | 아빠 | ≤5×10-5 | |||||
| 일의 압박감 | 아빠 | ≤1.3×10-3 | |||||
| 메인 펌프 펌핑 시간 | h | 5 | |||||
| 하중 시뮬레이션 | 킬로그램 | 10 | 15 | 20 | |||
| 메인 펌프 | 저온 펌프 | ||||||
| 기름 펌프 | 고온 및 저온 자기 펌프 | ||||||
| 백업 펌프 | 로터리 베인 펌프 + 루츠 펌프 | ||||||
| 냉장 방법 | 기계식 캐스케이드 냉동(액체 질소 보조 냉동) | ||||||
