모델 |
| 800 시리즈 | 1000 시리즈 | 1200 시리즈 |
온도 성능 매개변수 |
방열판 온도 범위 | ℃ | -70~150 |
베이스 플레이트 온도 범위 | ℃ | -70~150 |
방열판 평균 온도 변화율 | ℃/분 | ≥2 |
베이스 플레이트 평균 온도 변화율 | ℃/분 | ≥2 |
방열판 온도 균일성 | ℃ | ±2 | ±3 |
베이스 플레이트 온도 균일성 | ℃ | ±2 | ±3 |
압력 성능 매개변수 |
궁극의 압력 | 아빠 | ≤5×10-5 |
일의 압박감 | 아빠 | ≤1.3×10-3 |
메인 펌프 펌핑 시간 | h | 5 |
하중 시뮬레이션 | 킬로그램 | 10 | 15 | 20 |
메인 펌프 |
| 저온 펌프 |
기름 펌프 |
| 고온 및 저온 자기 펌프 |
백업 펌프 |
| 로터리 베인 펌프 + 루츠 펌프 |
냉장 방법 |
| 기계식 캐스케이드 냉동(액체 질소 보조 냉동) |
모델 |
| 800 시리즈 | 1000 시리즈 | 1200 시리즈 |
온도 성능 매개변수 |
방열판 온도 범위 | ℃ | -70~150 |
베이스 플레이트 온도 범위 | ℃ | -70~150 |
방열판 평균 온도 변화율 | ℃/분 | ≥2 |
베이스 플레이트 평균 온도 변화율 | ℃/분 | ≥2 |
방열판 온도 균일성 | ℃ | ±2 | ±3 |
베이스 플레이트 온도 균일성 | ℃ | ±2 | ±3 |
압력 성능 매개변수 |
궁극의 압력 | 아빠 | ≤5×10-5 |
일의 압박감 | 아빠 | ≤1.3×10-3 |
메인 펌프 펌핑 시간 | h | 5 |
하중 시뮬레이션 | 킬로그램 | 10 | 15 | 20 |
메인 펌프 |
| 저온 펌프 |
기름 펌프 |
| 고온 및 저온 자기 펌프 |
백업 펌프 |
| 로터리 베인 펌프 + 루츠 펌프 |
냉장 방법 |
| 기계식 캐스케이드 냉동(액체 질소 보조 냉동) |
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